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產(chǎn)品中心材料樣品檢測微型真空探針熱臺探針臺半導(dǎo)體制冷超低溫探針熱臺
產(chǎn)品簡介
半導(dǎo)體制冷超低溫探針熱臺精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。
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半導(dǎo)體制冷超低溫探針熱臺精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。
KT-Z165M4RT半導(dǎo)體制冷超低溫探針熱臺主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。
溫控器 | |
加熱溫度 | 35-400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。 |
溫控誤差 | ±1℃ |
熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 |
溫控表 | 宇電PID溫控器 |
程序控溫 | 1段（可選30段程序控溫表） |
加熱功率 | ≤300W |
加熱電源 | AC220v |
尺寸 | 230x230x125MM |
重量 | 6kg |
真空探針熱臺 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
加工方式 | 一體式CNC精加工 |
內(nèi)腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
加熱臺尺寸 | Φ35mm |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ45mm |
觀察窗材質(zhì) | 高透光石英玻璃 |
信號輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
抽氣口 | KF16 |
進(jìn)氣口 | 6MM卡套 |
使用正壓 | ≤O.05MPa |
使用負(fù)壓 | 機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
可擴(kuò)展配件 | 氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口 擴(kuò)展5KV高壓電極 升級30段控溫儀表 |
移動探針 | |
探針規(guī)格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
上下移動距離 | 2.5mm |
前后移動距離 | ±10mm |
左右旋轉(zhuǎn)距離 | 120° |
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