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高真空大型探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空大型探針臺(tái),采用304不銹鋼腔體,樣品臺(tái)溫度-196℃到400℃,觀察窗尺寸直徑70mm,

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z160T-RL
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1448
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品牌鄭科探

高真空大型探針臺(tái),采用304不銹鋼腔體,樣品臺(tái)溫度-196℃到400℃,觀察窗尺寸直徑70mm,

預(yù)算及產(chǎn)品品質(zhì)一直是困擾用戶的兩個(gè)難題。鄭科探推出的KT-Z160T-RL大型探針臺(tái)具有探針臂精度小于0.01mm,探針尖10μm,配有電子顯微鏡放大倍數(shù)19-135倍。20升液氮可連續(xù)使用30個(gè)小時(shí)。價(jià)格相對(duì)合理。


因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

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高真空大型探針臺(tái)

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

﹣196~350

加熱臺(tái)溫控誤差

±1

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

8

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm



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